鈦鉬和鈦鋯絲蒸發(fā)參數(shù)測(cè)量結(jié)果的應(yīng)用
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2014-08-15 閱讀
應(yīng)用鈦鉬和鈦鋯絲蒸發(fā)參數(shù)的測(cè)量結(jié)果，可預(yù)測(cè)任意直徑d長(zhǎng)度L的鈦鉬、鈦錯(cuò)絲的工作參數(shù)。如以鈦鉬絲為例，s*先由圖16-39根據(jù)合適的比蒸發(fā)率確定蒸發(fā)溫度，然后由下式分別計(jì)算所需加熱電流、電壓值
②吸附容量是在燈絲徹底去氣后關(guān)擴(kuò)散泵閥，然后恒電壓蒸發(fā)5min(膜厚28nm左右)，恒流充入被測(cè)氣體，記錄測(cè)量罩中的壓力隨時(shí)間的變化，由抽氣曲線（圖16-45）計(jì)算吸附容量（表16-15）。實(shí)驗(yàn)時(shí)起始?jí)毫?Pa～6.6×10^5Pa(液氮冷卻)，水冷時(shí)為1Pa～6.6×10^4Pa。
ƒ粘著系數(shù)是在擴(kuò)散泵隔離打開(kāi)和關(guān)閉，燈絲連續(xù)蒸發(fā)和間斷蒸發(fā)等四種情況下，分別測(cè)定膜面為12℃和78K下對(duì)N2和H2的粘著系數(shù)。在鈦絲充分去氣并扣除開(kāi)閥時(shí)擴(kuò)散泵抽速后，四種情況下起始粘著系數(shù)相差不大。故取其平均值與國(guó)外的數(shù)據(jù)相近。測(cè)量中出現(xiàn)氮?dú)?、氫氣的抽速比泵口的流?dǎo)還大，這可能是束流效應(yīng)的影響。
