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嚴格來講，冷凝泵抽速與冷凝抽氣面溫度、面積、被抽氣體溫度、種類以及障板溫度、障板面積和流導概率等諸多因素有關。 在實際使用中，多采用氣體流量法確定泵抽速的大小。采用小孔法(孔流導...
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