真空減壓系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
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2014-08-08 閱讀
減壓系統(tǒng)是通過適當(dāng)抽空低溫介質(zhì)(液氮或液氦)所在空間的氣體而達(dá)到進(jìn)一步降低介質(zhì)溫度目的的裝置。它由機(jī)械泵、排氣管道、節(jié)流閥及真空壓力表等部分構(gòu)成。節(jié)流閥能調(diào)節(jié)機(jī)械泵抽速的大小，從而控制貯液槽上方介質(zhì)蒸氣的壓力。經(jīng)驗(yàn)表明，節(jié)流閥初期，開啟程度對(duì)液氦減壓能否順利進(jìn)行具有至關(guān)重要的作用。貯液槽上方介質(zhì)的蒸氣壓力是用精密真空表測(cè)量的。根據(jù)測(cè)得的這一壓力可確定介質(zhì)經(jīng)減壓后的z*終溫度。圖16-28和圖16-29分別給出了氦和氮蒸氣壓與溫度關(guān)系的曲線。
充氣系統(tǒng)示意圖如圖16-30所示。該系統(tǒng)的抽氣機(jī)組由機(jī)械泵、五氧化二磷干燥瓶及兩級(jí)串聯(lián)的擴(kuò)散泵等組成。系統(tǒng)真空度一般可達(dá)10^4Pa。為了精確地確定進(jìn)氣量的大小，使用兩只經(jīng)嚴(yán)格校準(zhǔn)(原位進(jìn)行)的不同流導(dǎo)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。為了保證充入氣體的質(zhì)量，除使用高純度氣體外，在每次進(jìn)氣前還用該系統(tǒng)抽氣機(jī)組反復(fù)將充氣系統(tǒng)抽至高真空進(jìn)行氣體置換。
四極質(zhì)譜計(jì)分析系統(tǒng)由四極桿探頭和QMGl01型四極質(zhì)譜計(jì)等部分組成，該儀器z*小可檢分壓力為10^11Pa。該系統(tǒng)用于整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程中的殘余氣體分析及微小漏孔的檢測(cè)。
真空度測(cè)試系統(tǒng)包括測(cè)量規(guī)管和測(cè)試線路兩大部分。測(cè)試規(guī)管采用Balzers制造的IMR103型調(diào)制BA規(guī)和蘭州物理研究所研制的彎注規(guī)(敷氧化釷鎢燈絲)。所用測(cè)試線路分別為IMG040型數(shù)字顯示的自動(dòng)控制電離計(jì)和日本制造的TR84型振簧式靜電計(jì)。上述規(guī)管和線路都經(jīng)真空一級(jí)計(jì)量站校驗(yàn)過。
真空度測(cè)試系統(tǒng)包括測(cè)量規(guī)管和測(cè)試線路兩大部分。測(cè)試規(guī)管采用Balzers制造的IMR103型調(diào)制BA規(guī)和蘭州物理研究所研制的彎注規(guī)(敷氧化釷鎢燈絲)。所用測(cè)試線路分別為IMG040型數(shù)字顯示的自動(dòng)控制電離計(jì)和日本制造的TR84型振簧式靜電計(jì)。上述規(guī)管和線路都經(jīng)真空一級(jí)計(jì)量站校驗(yàn)過。
