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前級抽氣系統(tǒng)的組成

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2014-08-07 閱讀

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　　由濺射離子泵、分子篩吸附泵、機械泵和一些超高真空閥門等構(gòu)成。分子篩吸附泵或機械泵為濺射離子泵提供必要的啟動壓力，并作為冷凝泵初始烘烤階段的排氣泵。啟動濺射離子泵后，系統(tǒng)真空度可達10^7Pa。