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真空實驗系統(tǒng)的構成
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2014-08-07  閱讀

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真空實驗系統(tǒng)的構成
        實驗系統(tǒng)由冷凝、測試罩、前級抽氣系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、減壓系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和四極質譜計分析系統(tǒng)以及真空度測試系統(tǒng)等部分組成,圖16-27給出了該實驗系統(tǒng)的示意圖。
真空實驗系統(tǒng)的構成