z*簡便的方法就是
真空浸泡。系統(tǒng)分別在暴露大氣和真空浸泡24h后,相同運轉(zhuǎn)條件下(障板、冷阱不冷凍),系統(tǒng)真空度分別為8×
10-4Pa和1.86×
10-5Pa。靜態(tài)升壓法測定系統(tǒng)總放氣率分別為4.26×
10-1Pa.L/s和1.35×
10-2Pa.L/s。質(zhì)譜分析表明,暴露大氣后系統(tǒng)主要剩余氣體是水。它不僅影響系統(tǒng)的極限真空,而且嚴(yán)重影響機械
泵粗抽時間的真空度。真空浸泡后系統(tǒng)水峰大大降低,但油峰有所增加。