圖16-23是系統(tǒng)經(jīng)250℃,8h烘烤,阱加液氮4h后的質(zhì)譜圖。全壓力為舅06×
10-8Pa。在烘烤過程中氟里昂障板一直冷凍以降低返流。
除
H2(2.4×
10-8Pa)、C(5.06×
10-9Pa)、CO和N2(1.6×
10-9Pa)外,
泵液返流檢測不到,H2約占剩余氣體的78.3%??梢姾婵緦θコ砻娴姆盗魑廴拘Ч呛芎玫?。
實(shí)驗(yàn)表明:在剩余氣體中,C(m/e= 12)主要來自規(guī)管和質(zhì)譜計(jì)的鎢燈絲。表16-10是全壓力約為2.5×10-7Pa下,BA規(guī)燈絲關(guān)閉和打開情況下剩余氣體譜峰離子流的變化??梢娪绊憐*大的是C。