烘烤對去除表面污染的效果
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2014-08-01 閱讀
圖16-23是系統(tǒng)經(jīng)250℃，8h烘烤，阱加液氮4h后的質(zhì)譜圖。全壓力為舅06×10-8Pa。在烘烤過程中氟里昂障板一直冷凍以降低返流。
除H2(2.4× 10-8Pa)、C(5.06×10-9Pa)、CO和N2(1.6×10-9Pa)外，泵液返流檢測不到，H2約占剩余氣體的78.3%?？梢姾婵緦θコ砻娴姆盗魑廴拘Ч呛芎玫?。
除H2(2.4× 10-8Pa)、C(5.06×10-9Pa)、CO和N2(1.6×10-9Pa)外，泵液返流檢測不到，H2約占剩余氣體的78.3%?？梢姾婵緦θコ砻娴姆盗魑廴拘Ч呛芎玫?。
實(shí)驗(yàn)表明：在剩余氣體中，C(m/e= 12)主要來自規(guī)管和質(zhì)譜計(jì)的鎢燈絲。表16-10是全壓力約為2.5×10-7
