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油擴(kuò)散泵系統(tǒng)獲得極高真空時，氣體質(zhì)譜分析的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)如圖16-19所示。液氮阱以上的部件由不銹鋼制成，金絲密封。冷阱下法蘭以下用丁腈橡膠密封。擴(kuò)散泵泵體為碳鋼，使用275硅油，機(jī)械泵使用泵油。四極質(zhì)譜計(jì)為Balzers產(chǎn)QMG-101型?？倝毫τ葿-A規(guī)管讀取。