利用機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、障板和液氮阱組成的典型的油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，借助四極質(zhì)譜計(jì)，分析在不同運(yùn)轉(zhuǎn)條件下系統(tǒng)的剩余氣體，估算障板、阱降低泵液返流的效果和烘烤對(duì)去除泵液污染的作用，同時(shí)研究了真空浸泡、充氮保護(hù)這一簡(jiǎn)單有效的降低放氣和污染的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，從而，加深了對(duì)污染成分、來(lái)源和降低污染方法的認(rèn)識(shí)，有助于了解和控制系統(tǒng)的剩余氣體。
