利用冷凍升華的方法獲得極高真空
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2014-07-26 閱讀
冷凍升華鈦是指將鈦膜蒸發(fā)在77K以下的冷面上。它具有大的抽速及低的極限壓力。
它在極高真空中工作時(shí)，由于加熱放出大量氣體，鈦膜的飽和時(shí)間很長(zhǎng)，泵主要工作在加熱蒸發(fā)以后的冷態(tài)，故極限壓力低。z*近有人測(cè)定了鈦膜的解吸壓力，證明解吸壓力在室溫下低于10-10Pa，如圖16-15所示。該泵的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，抽速大，尤其是容積泵，在容器的周圍鍍上鈦膜，周圍都是吸氣膜，接近一個(gè)分子沉的環(huán)境。它的作用不僅是抽氣，而且還有減小放氣和防止返流的作用，既有泵的作用又有阱的作用，是空間模擬器和極高真空獲得中不可少的泵。低溫下鈦膜對(duì)氫有較大的抽速，而不銹鋼系統(tǒng)烘烤后的殘余氣體主要是氫。缺點(diǎn)是對(duì)惰性氣體抽速很小，因此必須和其它泵配合。 
它在極高真空中工作時(shí)，由于加熱放出大量氣體，鈦膜的飽和時(shí)間很長(zhǎng)，泵主要工作在加熱蒸發(fā)以后的冷態(tài)，故極限壓力低。z*近有人測(cè)定了鈦膜的解吸壓力，證明解吸壓力在室溫下低于10-10Pa，如圖16-15所示。該泵的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，抽速大，尤其是容積泵，在容器的周圍鍍上鈦膜，周圍都是吸氣膜，接近一個(gè)分子沉的環(huán)境。它的作用不僅是抽氣，而且還有減小放氣和防止返流的作用，既有泵的作用又有阱的作用，是空間模擬器和極高真空獲得中不可少的泵。低溫下鈦膜對(duì)氫有較大的抽速，而不銹鋼系統(tǒng)烘烤后的殘余氣體主要是氫。缺點(diǎn)是對(duì)惰性氣體抽速很小，因此必須和其它泵配合。
