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利用渦輪分子泵獲得極高真空

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2014-07-26 閱讀

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渦輪分子泵對(duì)所有氣體都能抽氣，且對(duì)分子量大的氣體其壓縮比也大，它是一種理想的清潔泵。影響分子泵極限壓力的因素主要是人口端泵體內(nèi)表面和轉(zhuǎn)子零件表面的材料放氣。它對(duì)輕的氣體壓縮比小，又不容易把抽速做得很大，這就限制了它的更廣泛的應(yīng)用。目前的極高真空系統(tǒng)尚沒有用分子泵做主泵的。