如圖,假定器壁兩側(cè)的壓力分別為P1和p2,器壁滲透面積為A。在平衡狀態(tài)下,器壁兩側(cè)溶解氣體的濃度分別為
按擴(kuò)散方程,在穩(wěn)態(tài)下由濃度差引起的質(zhì)量流量
式中K= Dk稱(chēng)為滲透率,即在壓差
105Pa下,單位時(shí)間通過(guò)單位壁厚在單位面積上滲透的氣體量,單位為
cm2/s或
m2/S。假定容器壁的面積為1000
cm2,厚0. 1cm,抽速為1L/s。欲獲得
10-8 Pa和
10-13Pa的
真空度所允許的滲透率的上限值示于表16-2。