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　　真空裝置的放氣源有：表面吸附氣體的脫附，溶解在材料內(nèi)部的氣體通過(guò)擴(kuò)散而放出，材料的蒸發(fā)、分解、解離，氣體和固體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)而生成的氣體。在極高真空系統(tǒng)中，材料的選擇是十分重要的。一般用不銹鋼、銅、無(wú)氧銅、鎢、鉬、鉭、金、銀、硼硅氧玻璃等，它們有一定的強(qiáng)度，化學(xué)性穩(wěn)定，蒸氣壓和分解壓低。而橡膠、油脂、普通塑料、黃銅（含有蒸氣壓高的鋅）、低溫合金（含錫、鉛合金）等都不宜采用。
　　
　　根據(jù)不同放氣源和材料的關(guān)系，我們可以深入探討影響材料放氣的因素，材料放氣影響極限壓力的程度以及如何減少它。