極高
真空系統(tǒng)達到極限壓力的穩(wěn)態(tài)平衡方程式:
式中 p-系統(tǒng)的極限壓力[Pa];
Pa——系統(tǒng)內(nèi)原有的氣體被
泵抽除后達到的平衡壓力[Pa];
Qt-系統(tǒng)中P種氣體的漏率[Pa.L/s];
Qi-系統(tǒng)中i種氣體的放氣率[Pa.L/s];
Se-系統(tǒng)對P種氣體的抽速[L/s];
Si-系統(tǒng)對f種氣體的抽速[ L/s];
Pj——泵對ji種氣體的極限壓力[Pa];
Uj-泵與真空室的連接管道對j種氣體的流導[L/S];
Sj-泵對Ji種氣體的抽速[ L/s]。
式(16-1)等號右邊第二項表示漏氣對極限壓力的貢獻,第三項表示各種放氣源對極限壓力的貢獻,第四項表示和極高真空室相連的泵(極限壓力為Pj)所產(chǎn)生的返流氣體對極限壓力的貢獻。
由式(16-1)可見:欲使p達到極高真空,其中每一項的值至少都要達到極高真空的量級。
而每一項又是由許多項分壓力之和而來。極高真空的抽氣泵對氣體具有選擇性,總壓力必須用分壓力的和來表示。因此,對氣源必須進行個別的分析,即不僅要知道氣體量,而且要知道放氣成分。這是和一般真空系統(tǒng)不同的一點。泵的選擇也要根據(jù)放氣量及放氣成分來考慮,二者不可偏廢。