輝光離子氮化工作原理
輝光離子氮化一般稱為離子氮化。輝光離子氮化是在真空室內(nèi)在高壓(一般500V～700V)直流電場作用下進行的。氮化時把待處理的工件接在高壓直流電源的陰極，工件的外圍設(shè)置一個接高壓直流電源的陽極。當真空度達到13Pa以上時，向真空室中通入氨氣，并調(diào)節(jié)氨氣量，使真空室內(nèi)壓力保持在1.3×102Pa—6.6×102Pa之間。
在陰陽極之間加高壓后，氨氣在高壓電場作用下電離發(fā)生輝光放電，產(chǎn)生的氮正離子，在電場作用下，快速入射到陰極表面；在正離子轟擊下，產(chǎn)生大量的熱，使工件加熱到所需溫度，因此離子氮化不需外部加熱。
正離子以一定的速度轟擊陰極時，除產(chǎn)生大量的熱外，同時使陰極濺射出電子和鐵原子。陰極發(fā)射的電子，在向陽極運動的過程中，不斷地從電場中獲得能量，使氨電離。電離的氮正離子繼續(xù)向陰極快速運動，使電離過程不斷進行，真空室內(nèi)輝光放電繼續(xù)發(fā)生。
氮的正離子轟擊陰極時，在陰極奪取電子還原成氮原子。并滲入到金屬表面和向內(nèi)部擴散形成氮化層。
在陰陽極之間加高壓后，氨氣在高壓電場作用下電離發(fā)生輝光放電，產(chǎn)生的氮正離子，在電場作用下，快速入射到陰極表面；在正離子轟擊下，產(chǎn)生大量的熱，使工件加熱到所需溫度，因此離子氮化不需外部加熱。
正離子以一定的速度轟擊陰極時，除產(chǎn)生大量的熱外，同時使陰極濺射出電子和鐵原子。陰極發(fā)射的電子，在向陽極運動的過程中，不斷地從電場中獲得能量，使氨電離。電離的氮正離子繼續(xù)向陰極快速運動，使電離過程不斷進行，真空室內(nèi)輝光放電繼續(xù)發(fā)生。
氮的正離子轟擊陰極時，在陰極奪取電子還原成氮原子。并滲入到金屬表面和向內(nèi)部擴散形成氮化層。
