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為了解決常用工藝存在的問題，研究了氣體熱沖洗和間斷排氣新工藝。新工藝的特點是，抽氣前先采用氣體熱沖洗工藝進行預處理。抽氣過程中再采用間斷的排氣方法。 氣體熱沖洗的主要目的是，利用易脫附的無害干燥氣體多次充入容器內，去置換出不易脫附的水蒸氣和空間內有害氣體氧等，使容器在抽空前，空間的和材料表面...
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