氣體熱沖洗和間斷排氣新工藝概述
為了解決常用工藝存在的問題，研究了氣體熱沖洗和間斷排氣新工藝。新工藝的特點是，抽氣前先采用氣體熱沖洗工藝進(jìn)行預(yù)處理。抽氣過程中再采用間斷的排氣方法。
氣體熱沖洗的主要目的是，利用易脫附的無害干燥氣體多次充入容器內(nèi)，去置換出不易脫附的水蒸氣和空間內(nèi)有害氣體氧等，使容器在抽空前，空間的和材料表面吸附的及吸附劑吸附的氣體成分變?yōu)槌淙藲怏w成分。
氣體熱沖洗的另一個目的足，在空氣預(yù)熱的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步利用充入高壓力的無害氣體的分子傳熱作用，使絕熱材料和吸附劑在抽氣前迅速均勻地升高到允許的z*高除氣溫度。
實驗證明，氫、氦、氮、氬作為充人氣體都有一定的效果，其中氫、氦的效果比氮好，氬比氮差。考慮到氮氣來源方便，使用安全可靠，z*適宜作充入氣體。
氣體熱沖洗的工藝步驟是，容器先在空氣中預(yù)加熱到80℃，然后用機械泵預(yù)抽，在真空度達(dá)到10 -1Pa—20Pa時，緩慢地將選擇好的氣體充人。在上述預(yù)抽過程和充人氣體的情況下，繼續(xù)加熱升溫達(dá)到允許的溫度，并根據(jù)具體情況重復(fù)上述步驟進(jìn)行2～4次氣體熱沖洗。在達(dá)到充氣目的后進(jìn)行正式抽氣。
氣體熱沖洗的主要目的是，利用易脫附的無害干燥氣體多次充入容器內(nèi)，去置換出不易脫附的水蒸氣和空間內(nèi)有害氣體氧等，使容器在抽空前，空間的和材料表面吸附的及吸附劑吸附的氣體成分變?yōu)槌淙藲怏w成分。
氣體熱沖洗的另一個目的足，在空氣預(yù)熱的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步利用充入高壓力的無害氣體的分子傳熱作用，使絕熱材料和吸附劑在抽氣前迅速均勻地升高到允許的z*高除氣溫度。
實驗證明，氫、氦、氮、氬作為充人氣體都有一定的效果，其中氫、氦的效果比氮好，氬比氮差。考慮到氮氣來源方便，使用安全可靠，z*適宜作充入氣體。
氣體熱沖洗的工藝步驟是，容器先在空氣中預(yù)加熱到80℃，然后用機械泵預(yù)抽，在真空度達(dá)到10 -1Pa—20Pa時，緩慢地將選擇好的氣體充人。在上述預(yù)抽過程和充人氣體的情況下，繼續(xù)加熱升溫達(dá)到允許的溫度，并根據(jù)具體情況重復(fù)上述步驟進(jìn)行2～4次氣體熱沖洗。在達(dá)到充氣目的后進(jìn)行正式抽氣。
