真空系統中常用的玻璃一金屬封接結構,要求封接件具有氣密性、一定強度、耐烘烤和一定的電絕緣性能。
常用玻璃一金屬封接的類型如下:
匹配封接是指玻璃與金屬的線膨脹系數在一定溫度范圍內是相近的(差值小于10%)。不匹配封接時,玻璃與金屬線膨脹系數差值較大(差值大于10%)。當玻璃與金屬線膨脹系數相差甚大時可采用線膨脹系數介于玻璃與金屬之間的一種或幾種玻璃來進行過渡封接。從結構上可分為圍封結構、管封結構和盤封結構,如圖15-19所示。圍封結構是指封接金屬桿的四周是用玻璃包圍起來的結構,如超高真空電離計規管引線(圖15-19(a))、彎注規規管引線、真空振動薄膜規規管引線(圖15-19(¨)等。
常用的管封結構為金屬圓管和玻璃圓管的對接結構。如可伐法蘭接頭與玻璃管的封接(圖15-19(c)、(e)。
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