真空系統(tǒng)中常用的玻璃一金屬封接結(jié)構(gòu),要求封接件具有氣密性、一定強(qiáng)度、耐烘烤和一定的電絕緣性能。
常用玻璃一金屬封接的類型如下:
匹配封接是指玻璃與金屬的線膨脹系數(shù)在一定溫度范圍內(nèi)是相近的(差值小于10%)。不匹配封接時(shí),玻璃與金屬線膨脹系數(shù)差值較大(差值大于10%)。當(dāng)玻璃與金屬線膨脹系數(shù)相差甚大時(shí)可采用線膨脹系數(shù)介于玻璃與金屬之間的一種或幾種玻璃來進(jìn)行過渡封接。從結(jié)構(gòu)上可分為圍封結(jié)構(gòu)、管封結(jié)構(gòu)和盤封結(jié)構(gòu),如圖15-19所示。圍封結(jié)構(gòu)是指封接金屬桿的四周是用玻璃包圍起來的結(jié)構(gòu),如超高真空電離計(jì)規(guī)管引線(圖15-19(a))、彎注規(guī)規(guī)管引線、真空振動(dòng)薄膜規(guī)規(guī)管引線(圖15-19(¨)等。
常用的管封結(jié)構(gòu)為金屬圓管和玻璃圓管的對(duì)接結(jié)構(gòu)。如可伐法蘭接頭與玻璃管的封接(圖15-19(c)、(e)。
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