我國自20世紀(jì)60年代有了氣冷式真空熱處理爐后，才使工具鋼、高速鋼、不銹鋼和耐熱合金鋼能進行真空淬火處理。到70年代又相繼研制出油冷式真空熱處理爐，水冷式真空熱處理爐，這樣更擴大了對鋼材料和零件的真空熱處理范圍。
　　
　　航空航天及計算機事業(yè)的發(fā)展，促進了真空熱處理技術(shù)的發(fā)展，國內(nèi)相繼研制成功了不同類型的真空熱處理爐，用于科研和生產(chǎn)中。
　　
　　真空是一種良好的保護氣氛，熱處理后的零件表面光亮，這是真空熱處理的z*大優(yōu)點。此外，真空熱處理還有以下一些獨特的優(yōu)點：
　　
　?、俟?jié)省能源。很多真空熱處理設(shè)備，都可用作多種熱處理，如淬火、退火、滲碳，甚至釬焊、燒結(jié)、光亮淬火、消除應(yīng)力、時效等，且機械化程度高，節(jié)省人力。
　　
　?、跓o公害、安全、熱處理環(huán)境好。
　　
　?、垡恍┮蟾叩奶厥馓幚砑夹g(shù)，在真空中處理時極易掌握，成為普通的操作。
　　
　?、苣馨讶魏斡糜秃涂諝獯慊鸬牟牧洗愕絲*高硬度，且操作簡單。
　　
　　⑤熱處理后的零件直接用于電鍍，不用除油、清洗或其它表面加工，免除了各種輔助工序。
　　
　?、薷咚黉撚谜婵諢崽幚泶纣}浴，收到非常好的效果，如增加刀具壽命，不會出現(xiàn)滲碳、脫碳、氧化、氫脆等問題。
　　
　?、哒婵諢崽幚砑冃涡?，不容易開裂。這可能是由于加熱慢，加熱過程中內(nèi)外溫差小的緣故。例如高速鋼燕尾銑刀真空加熱，隨后急劇淬火也不會發(fā)生開裂，零件采用真空油淬，其變形僅為一般油淬的1/10，熱處理后可不經(jīng)加工或作少量磨削加工。
　　
　　在真空條件下加熱，換熱方式主要是熱輻射而不是對流，因此爐溫均勻，在1200℃下僅為±5℃。但真空熱處理也有缺點，主要是會導(dǎo)致某些工具鋼的脫碳，且冷卻速度慢，設(shè)備制造比較困難，需用貴的材料，有一定的噪聲。