離子束刻蝕設(shè)備整機(jī)自動(dòng)化是設(shè)備發(fā)展的方向。LSK-3型機(jī)實(shí)現(xiàn)了從開(kāi)機(jī)到刻蝕終止全過(guò)程的自動(dòng)化。
　　
　　整機(jī)程序自動(dòng)控制的功能為：對(duì)刻蝕全過(guò)程14個(gè)受控量具有準(zhǔn)確控制功能；對(duì)6個(gè)條件量具有判別、等待和分支處理功能。延時(shí)時(shí)間精度優(yōu)于±0.2%。