實現(xiàn)工作一維深度加權(quán)刻蝕的離子束刻蝕設(shè)備，要用計算機控制系統(tǒng)。深度加權(quán)的刻蝕深度按照預(yù)先給定的曲線分布進行，由于離子束的強度是恒定的，離子源的位置也是固定的，而工件臺相對于離子源作一維平移，所以控制工件的刻蝕深度即轉(zhuǎn)化為控制工件在各個不同位置的刻蝕時間。
　　
　　計算機TRS-80先按給定的數(shù)據(jù)模型計算出對應(yīng)于工件每個位置所需的刻蝕時間，并存入內(nèi)存；然后控制步進電機使工件臺作一維方向的平移，每移動一定的距離，停留某一預(yù)定時間。
　　
　　在刻蝕過程中，用計算機控制，主要實現(xiàn)以下幾個功能：①控制刻蝕時間；②控制工件臺平移；③控制快門開、關(guān)；④巡檢束流。當(dāng)配電系統(tǒng)的各種故障引起束流不正常時，希望保留現(xiàn)場，計算機處于暫停狀態(tài)，待故障排除后繼續(xù)進行刻蝕；⑤控制步進電機能正、反轉(zhuǎn)進行雙向刻蝕。