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離子束刻蝕:主機電控系統

2014-06-08 06:12:00  閱讀()

　　離子束刻蝕的主機電控系統由控制變壓器、壓力繼電器、熱繼電器、半導體時間繼電器、中間繼電器、交流接觸器、螺旋式熔斷器、訊響器、開關、插座、信號燈等組成。位于主機機柜中，保證機械泵、擴散泵、電磁帶放氣真空閥，插板閥、三通閥、復合真空計及供水系統正常工作。
標簽： 離子束刻蝕主機電控系統  

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