離子束刻蝕:主機(jī)電控系統(tǒng)

2014-06-08 06:12:00 閱讀()

　　離子束刻蝕的主機(jī)電控系統(tǒng)由控制變壓器、壓力繼電器、熱繼電器、半導(dǎo)體時間繼電器、中間繼電器、交流接觸器、螺旋式熔斷器、訊響器、開關(guān)、插座、信號燈等組成。位于主機(jī)機(jī)柜中，保證機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、電磁帶放氣真空閥，插板閥、三通閥、復(fù)合真空計及供水系統(tǒng)正常工作。