離子源電源由陰極、陽極、屏柵極、加速極和中和器電源等五部分組成。其技術指標見表10-37。

　　
　　離子源電源的特點是：
　　
　　①五種電源在主電路上均采用同一類型的變壓器原端可控硅調整的穩壓方案。陰極和中和器電源由變壓器次級直接供出交流電壓：陽極、屏柵極、加速極電源由橋式整流后通過RC或LC組成的π型濾波器供出直流電壓。由于在電源各部分參數的設計上，特別是對于變壓器原端可控硅的選擇以及主電路各元件上安全系數選取比通常的要大得多，故在系統濺射時而引起的頻繁打火，過流浪涌的沖擊、瞬時的高壓短路的惡劣工作條件下電源都能安全穩定地工作。
　　
　　②五種電源每種都有自己的短路過流過載保護裝置。保護電路為延遲型，以便于在系統清洗過后也能很快進入穩定工作。
　　
　　③五種電源輸出電壓都用一多圈精密電位器從零到z*大值的范圍連續可調；陰極電源和中和器電源并設有束流穩定裝置，設定點連續由多圈精密電位器來設定。‘五種電源的控制部分都由同一“機芯”組成，裝在同樣的一塊印制版上。五種電源從上到下順序地安裝在同一架立式機柜中。每一機箱都有可伸縮的饋線連接，便于每一電源單獨由機箱的滑軌拉出，因而在機架上就能帶電進行測試和檢查。
　　
　　離子源電源是采用一只可控硅在變壓器初級與四只硅整流二極管組成全橋線路。可控硅的導通角受觸發電路輸送的寬脈沖所控制，而這一脈沖的寬度是受取樣信號和設定電壓的控制，因而達到變壓器初級交流的調壓。
　　
　　可控硅控制極的觸發電路是采用鋸齒波移相的觸發電路形式。它是利用同步變壓器與二極管對交流進行全波變換后，給一個電容充電，在電容上形成具有固定幅度的(頻率為100Hz)鋸齒波，輸入到BG307同相輸入端，與輸入到BG307的反相輸入端（由主電路輸出端取樣并由SG23放大）的直流控制電壓進行比較，使運算放大器BG307的輸出端產生一寬度受這一直流電壓控制的正脈沖，經光電隔離并經末級直流放大器放大后加到可控硅的控制極來控制它的導通角大小，從而進行交流調壓。
　　
　　直流控制電壓是采樣主電路的輸出電壓到直流放大器5G23的同相（加速極是反相端）輸入端與電壓調壓電位器VR上的設定電壓比較來改變5G23輸出電壓的大小，從而來調節和穩定主電路輸出電壓的變化。