離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點(diǎn)—供氣系統(tǒng)
2014-06-05 06:02:00 閱讀()
供氣系統(tǒng)分氬氣(工質(zhì)氣體)和氧氣(輔助氣體)兩套系統(tǒng)。在氬氣中混入一定比例的氧氣,可以防止一些晶體(如鈮酸鋰)表面缺氧而導(dǎo)致性能變化。LSK-3型離子束刻蝕機(jī)的供氣系統(tǒng)分手控和自控兩路。手控系統(tǒng)由流量微調(diào)真空閥(WT30-1型)、兩個(gè)GM-10型真空隔膜閥、一個(gè)容積為8L的貯氣罐,一個(gè)2.5kg/cm²真空壓力表和管路組成。自控系統(tǒng)除手控的部件外,加有一套D07-2/ZM型質(zhì)量流量控制器。氣體流量由工作壓力間接指示。
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