離子源采用永久磁鐵軸向發散磁場結構的考夫曼(Kaufman)型離子源。圓筒形陽極直徑為150mm；鉭絲陰極直徑為0.4mm，長度為130mm，繞成內徑約2mm的單螺旋形；鉭絲中和器直徑為0.4mm，長度70mm；多孔鉬制屏柵極和加速極開扎區直徑為120mm柵極間隙1.5mm。為了便于裝拆和清洗，離子源整體結構為可拆卸式。陰極組件可單獨卸下來，中和器裝在屏蔽罩正面。供氣管和引線為接插式結構。圖10-39為離子源示意圖。
　　
　　考夫曼離子源由于它的離子流密度較高，可達1mA/cm²以上，束徑可達350mm，均勻性為±5%，可變離子能量為2keV。為此，目前的離子束刻蝕設備一般均采用考夫曼型離子源。