本標(biāo)準(zhǔn)適于壓力在10-4Pa—10-3Pa范圍內(nèi)蒸發(fā)類、濺射類、離子鍍類真空鍍膜設(shè)備（以下簡稱設(shè)備）。
　　
　　(1)設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
　　
　　設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)見表10-27。


　　
　　(2)極限壓力的測定
　　
　?、僭囼?yàn)條件：
　　
　　a．鍍膜室內(nèi)為空載（即不安放被鍍件）；
　　
　　b．真空測量規(guī)管應(yīng)裝于鍍膜室壁上或z*靠近鍍膜室的管道上；
　　
　　c．所用真空計應(yīng)為設(shè)備本身的配套者，并應(yīng)在有效期內(nèi)；
　　
　　d．允許在抽氣過程中用設(shè)備本身配有的加熱轟擊裝置對鍍膜室進(jìn)行除氣；
　　
　　e．對具有中擱板、上卷繞室和鍍膜室的卷繞鍍膜設(shè)備，應(yīng)在兩室同時抽氣時對鍍膜室的壓力進(jìn)行測試。
　　
　　②測試方法：在對鍍膜室連續(xù)抽氣24h之內(nèi)，測定其壓力的z*低值，定為該設(shè)備的極限壓力。當(dāng)壓力變化值在0.5h內(nèi)不超過5%時，取測量表讀數(shù)z*高值為極限壓力值，且鍍膜室內(nèi)各旋轉(zhuǎn)密封部位處于運(yùn)動狀態(tài)。
　　
　　(3)抽氣時間的測定
　　
　?、僭囼?yàn)條件：同極限壓力測定的試驗(yàn)條件之a(chǎn)、b、c、d。
　　
　　②測試方法：設(shè)備在連續(xù)抽氣條件下，在鍍膜室內(nèi)達(dá)到極限壓力之后，打開鍍膜室15min，再關(guān)閉鍍膜室對其再度抽氣至表10-31中所規(guī)定的壓力值所需的時間，定為該設(shè)備的抽氣時間。
　　
　　(4)升壓率測定
　　
　　①試驗(yàn)條件：同極限壓力測定。
　　
　　②測試方法：設(shè)備在連續(xù)抽氣24h之內(nèi)使鍍膜室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的z*低壓力之后，關(guān)閉與鍍膜室相連接的真空閥，待鍍膜室壓力上升至P1(1Pa)時，開始計時，經(jīng)1h后記p2，然后按下式計算升壓率：