真空鍍膜：CVD的反應方式
2014-05-23 06:25:00 閱讀()
CVD方法采用不同的反應方式可以制備出單質、化合物、氧化物和氮化物等各類薄膜。早期精制金屬時，采用氫還原及化學輸送反應?，F(xiàn)在廣泛使用的反應方式有加熱分解、氧化、等離子體激發(fā)、光激發(fā)等。各種反應方式及生成物見表10-18。
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