空心陰極鍍氮化鈦裝置

2014-05-19 06:18:00 閱讀()

　　空心陰極鍍氮化鈦裝置示意圖如圖10-21所示。主要結(jié)構(gòu)有：鍍膜室其尺寸為

620mm×720nun; HCD槍：空心陰極為

9mm×1mm×170mm鉭管；槍功率12W;坩堝熔池容積350cm³；烘烤裝置功率5kW;三維復(fù)合運(yùn)動工件行星轉(zhuǎn)動架；真空系統(tǒng)由300L/s油擴(kuò)散泵及2X-30機(jī)械泵組成；充氣、水冷、裝料車、電器控制等。

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