低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等要求具有工作壓力高、排氣量大的低真空抽氣機(jī)組。這類低真空抽氣機(jī)組主泵常用往復(fù)式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣噴射泵、水環(huán)泵、羅茨泵等。使用的低真空抽氣機(jī)組還需根據(jù)被抽氣體清潔程度、濕度或其它特殊要求，配置必要的除塵器、干燥罐等部件。
　　
　　往復(fù)泵、油封機(jī)械泵不適于抽含有灰塵的氣體?；覊m能污染泵油并且磨損泵腔內(nèi)表面產(chǎn)生漏氣，使極限真空度下降。防止灰塵的辦法是裝置除塵器。
　　
　　油封機(jī)械泵不適于抽除含有大量水蒸氣的氣體。水蒸氣在壓縮過(guò)程中會(huì)凝結(jié)成水滴，并與泵油混合形成懸浮液，不僅會(huì)使真空度下降，也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度下降。為此，防止水蒸氣對(duì)機(jī)械泵的污染很重要。防止的措施有：①選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵，當(dāng)泵溫為70℃- 80℃時(shí)，可允許抽除含有水蒸氣分壓為1.3×103Pa～4×103Pa的氣體;②裝油分離器、離心式分離器或油水分離器，將混有水的機(jī)械泵油進(jìn)行處理，處理過(guò)的油再流人泵中使用;③使用吸水性強(qiáng)的干燥劑，如五氧化二磷、三氧化二鋁、氯化鈣、分子篩等做成捕集阱吸收水蒸氣;④使用液氮冷阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，同時(shí)還可以阻擋機(jī)械泵油向高真空室返流。工業(yè)上常用前兩種方法，實(shí)驗(yàn)室及小型抽氣系統(tǒng)常用后兩種方法。