由濺射離子泵和鈦升華泵組成的真空系統(tǒng)是目前獲得清潔超高真空的主要抽氣手段，能獲得低于1.3×10^-3Pa的壓力。中小型真空系統(tǒng)以濺射離子泵做主泵，大型真空系統(tǒng)以鈦升華泵做主泵。超高真空系統(tǒng)要求真空室內(nèi)壁相當(dāng)干凈，零件表面粗糙度要求高，材料放氣量要小。真空室零件要進(jìn)行嚴(yán)格的清潔處理，不要用手接觸零件表面。真空室的漏率也要嚴(yán)加控制。除此以外，還要對(duì)真空室進(jìn)行烘烤，烘烤溫度一般為200℃—250℃，烘烤時(shí)間為10h—12h(或者加熱到350℃-400℃，烘烤4h)。
　　
　　國產(chǎn)濺射離子泵啟動(dòng)壓力為6.7×10^ -1Pa左右。壓力再高，啟動(dòng)不了。濺射離子泵裝配后，第一次啟動(dòng)比較麻煩。為了加速啟動(dòng)，z*好卸下磁鐵，將泵烘烤。烘烤溫度為400℃～500℃，烘烤時(shí)間為24h～30h。使泵徹底除氣后，就容易啟動(dòng)。在烘烤過程中，用預(yù)抽泵不斷抽走烘烤時(shí)放出來的氣體。濺射離子泵使用一段時(shí)間后，可能出現(xiàn)不易啟動(dòng)或極限真空度下降的現(xiàn)象。若不是漏氣造成的，那就可能是泵受大氣中水蒸氣或機(jī)械泵油蒸氣作用所造成的。這時(shí)采取烘烤措施便能使泵恢復(fù)原來的性能。若污染嚴(yán)重，性能恢復(fù)不了，需將泵卸開，對(duì)泵內(nèi)零部件進(jìn)行徹底清洗。
　　
　　超高真空系統(tǒng)真空室材料多為不銹鋼，對(duì)不銹鋼的清洗極為重要。清洗是為了減少不銹鋼表面物理吸附和化學(xué)吸附的氣體。不清潔的不銹鋼表面利用二次離子譜儀和俄歇譜儀觀察，主要污染是碳和它的化合物，是有機(jī)物，因此利用各種化學(xué)溶劑除去表面有機(jī)物、碳化物是常用的方法。表15-10、表15-11比較了幾種清洗方法及不銹鋼經(jīng)各種處理后的典型放氣率。