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電子工藝對(duì)真空環(huán)境的要求

  根據(jù)美國潔凈室標(biāo)準(zhǔn),空氣潔凈度的分級(jí)是依據(jù)每0.028m^3中的塵埃粒數(shù),那么10000級(jí)潔凈室每0.028m^3空氣中含有的0. 5um或更大的塵埃粒數(shù)少于10000顆。采用絕對(duì)過濾層流技術(shù)措施和室內(nèi)套室結(jié)構(gòu),每0.028m^3塵粒數(shù)可少于100顆。
  
  (1)電子組裝件所需的潔凈室環(huán)境
  
  電子組裝件所需的潔凈室環(huán)境通用z*低標(biāo)準(zhǔn)見表15-7。
電子工藝對(duì)真空環(huán)境的要求
  
  潔凈室z*低標(biāo)準(zhǔn),也應(yīng)包括溫濕度控制。保持工作區(qū)溫度在20℃~30℃之間,相對(duì)濕度為45%—55%時(shí),就可以避免類似的汗水和靜電污染。
  
  (2)潔凈室使用要求
電子工藝對(duì)真空環(huán)境的要求
  
  潔凈室使用要求見表15-8
  
  4.表面凈化方法

電子工藝對(duì)真空環(huán)境的要求
  
  評(píng)價(jià)清潔表面的方法見表15-9.
標(biāo)簽: 真空  

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