在真空獲得和真空測量技術中,經(jīng)常遇到各種工藝問題。這些工藝問題涉及面很廣,除一般的機械加工外,主要有材料及零(部)件的清潔處理,不同材料的焊接、粘結和封接,設備的真空排氣工藝以及吸附劑活化處理等?,F(xiàn)將主要工藝問題列舉如下:
真空技術對工藝的要求:
①材料表面放氣率低;
?、跉饷苄院?
③有利于獲得真空的光滑“清潔”表面;
?、芑瘜W性質(zhì)穩(wěn)定;
⑤在高、低溫沖擊下有一定的機械強度;
⑥超高真空和極高真空設備上的有關零(部)件應能承受400℃的高溫烘烤。
真空技術常用工藝概述
2014-05-12 10:02:48 閱讀()
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