(1)感應加熱式蒸發(fā)源的工作原理及特點
將裝有膜材的坩堝放在螺旋線圈的中央(不接觸),在線圈中通以高頻電流,膜材在高頻電磁場感應下產(chǎn)生強大的渦流,致使膜材升溫,直至蒸發(fā),膜材體積越小,所需頻率越高,每塊僅有幾毫克重的材料應采用幾兆赫頻率的電源頻率,感應線圈常用銅管制成并通以冷卻水。為了使膜層均勻,各坩堝線圈功率均可單獨調(diào)節(jié)。
這種蒸發(fā)源的特點是:
①蒸發(fā)速率大。在鋁淀積厚度為40nm時,卷繞速度可達270m/min,比電阻熱源大10倍左右。
?、谡舭l(fā)源溫度均勻穩(wěn)定,不易產(chǎn)生鋁滴飛濺現(xiàn)象??杀苊怃X滴淀積在薄膜上產(chǎn)生針孔現(xiàn)象。所以采用感應加熱方法生產(chǎn)金銀絲的成品率亦相應提高。
?、壅舭l(fā)源一次裝料,無需送絲機構(gòu),溫度控制比較容易,操作比較簡單。
?、軐δげ募兌纫蟮?。一般真空感應加熱用99.9%純度的鋁,而電阻加熱要求鋁的純度為99.99%。所以生產(chǎn)成本亦可降低。
(2)感應加熱式蒸發(fā)源的結(jié)構(gòu)
日本真空株式會社( ULVAC)生產(chǎn)的EW系列卷繞式高真空鍍膜機中用的感應加熱式蒸發(fā)源結(jié)構(gòu),如圖10-8所示。電源為高頻發(fā)電機組,電壓450V,頻率為9727Hz。該系列坩堝共有四個品種,其標準尺寸見表10-1。
內(nèi)徑坩堝的裝料是1000g,坩堝使用壽命平均達18次~20次。為了延長坩堝使用壽命,在第一次裝鋁料時,應加入4%的鈦,以后可適當減少,其目的是在坩堝的內(nèi)表面形成一層TiC,以防止鋁直接與坩堝發(fā)生反應。
除上述各種蒸鍍方法外,其它蒸鍍方法及其實用性見表10-2。
真空鍍膜:感應加熱式蒸發(fā)源
2014-05-11 06:25:00 閱讀()
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