(1)感應加熱式蒸發(fā)源的工作原理及特點
　　
　　將裝有膜材的坩堝放在螺旋線圈的中央（不接觸），在線圈中通以高頻電流，膜材在高頻電磁場感應下產(chǎn)生強大的渦流，致使膜材升溫，直至蒸發(fā)，膜材體積越小，所需頻率越高，每塊僅有幾毫克重的材料應采用幾兆赫頻率的電源頻率，感應線圈常用銅管制成并通以冷卻水。為了使膜層均勻，各坩堝線圈功率均可單獨調(diào)節(jié)。
　　
　　這種蒸發(fā)源的特點是：
　　
　　①蒸發(fā)速率大。在鋁淀積厚度為40nm時，卷繞速度可達270m/min，比電阻熱源大10倍左右。
　　
　?、谡舭l(fā)源溫度均勻穩(wěn)定，不易產(chǎn)生鋁滴飛濺現(xiàn)象?？杀苊怃X滴淀積在薄膜上產(chǎn)生針孔現(xiàn)象。所以采用感應加熱方法生產(chǎn)金銀絲的成品率亦相應提高。
　　
　?、壅舭l(fā)源一次裝料，無需送絲機構(gòu)，溫度控制比較容易，操作比較簡單。
　　
　?、軐δげ募兌纫蟮?。一般真空感應加熱用99.9%純度的鋁，而電阻加熱要求鋁的純度為99.99%。所以生產(chǎn)成本亦可降低。
　　
　　(2)感應加熱式蒸發(fā)源的結(jié)構(gòu)
　　
　　日本真空株式會社( ULVAC)生產(chǎn)的EW系列卷繞式高真空鍍膜機中用的感應加熱式蒸發(fā)源結(jié)構(gòu)，如圖10-8所示。電源為高頻發(fā)電機組，電壓450V，頻率為9727Hz。該系列坩堝共有四個品種，其標準尺寸見表10-1。
　　
　　內(nèi)徑坩堝的裝料是1000g，坩堝使用壽命平均達18次～20次。為了延長坩堝使用壽命，在第一次裝鋁料時，應加入4%的鈦，以后可適當減少，其目的是在坩堝的內(nèi)表面形成一層TiC，以防止鋁直接與坩堝發(fā)生反應。
　　
　　除上述各種蒸鍍方法外，其它蒸鍍方法及其實用性見表10-2。