擴(kuò)散泵真空機(jī)組是真空工程中廣泛使用的一種抽氣設(shè)備，其工作壓力范圍10-IPa -10-4Pa，抽速?gòu)?02L/S—2×104L/S。它采用油做工作介質(zhì)，對(duì)于怕油污染的真空環(huán)境，其使用受到了一定限制。如果采用五氯酚苯基乙醚或五氯酚苯基硅氧烷為工作液，返油就會(huì)得到很大改善。也可以采用水冷擋板，再裝一個(gè)簡(jiǎn)單的液氮阱，可使返油率小于5×10 -6 mg/cm2.min。擴(kuò)散泵機(jī)組對(duì)各種氣體抽氣無(wú)選擇性，操作簡(jiǎn)單，便于維護(hù)。因而廣泛地應(yīng)用于光學(xué)工業(yè)、電子工業(yè)、真空冶金、航天及原子能工業(yè)中。