預(yù)抽中，當(dāng)壓力降到粘滯一分子流狀態(tài)的壓力時（<10Pa數(shù)量級），機械泵油開始污染真空系統(tǒng)。壓力進一步降低到分子流狀態(tài)的壓力時，機械泵油就以不變的流量Q=pU污染真空系統(tǒng)（p——一定溫度下機械泵油的飽和蒸氣壓；U-前級管道的流導(dǎo)）。設(shè)室溫下p= 10-2Pa，U= 10L/s，則Q=1×10-1Pa·L/S，此值相當(dāng)于每秒幾微克的油返流到真空系統(tǒng)。假設(shè)真空系統(tǒng)的面積1000cm2油將以0.1單分子層／S的速率淀積在表面上。為防止機械泵油的污染，通常采用的措施是：

　　①前級管道中加裝液氮冷阱、分子篩吸附阱、活性氧化鋁阱等來阻擋機械泵油蒸氣的返流；
　　
　?、谟眉儍舻獨鉀_洗。機械泵抽到10Pa左右以后馬上關(guān)閉機械泵，啟動分子篩低溫吸附泵預(yù)抽。
　　
　　圖7-29為前級管道阱結(jié)構(gòu)；圖7-30為各種前級管道抽氣時間特性。圖7-31為兩種類型的氮氣純化器的流程圖。
　　
　　氮純化器操作程序：打開純化器A和B，啟動機械泵預(yù)抽，控制流量使管道內(nèi)氣體狀態(tài)為粘滯流，容器和管道中吸附的二氧化碳和水蒸氣及其它污染物被干凈純化氮氣流帶走。純化半小時后，關(guān)閉純化器A，管道上低溫吸附阱中充入液氮，并關(guān)閉純化器B，抽到10Pa壓力后，關(guān)閉預(yù)抽機械泵，繼續(xù)用低溫吸附阱抽氣。