分子篩具有特別大的吸附表面面積,用分子篩吸附來自泵的返流蒸氣,效果比無氧銅箔阱要好。一般采用13X型或4A型分子篩,能獲得10-8Pa~10-10Pa的超高真空,有效工作時間長達75d。圖7-15為玻璃分子篩吸附阱。
金屬超高真空系統(tǒng)用的大型分子篩吸附阱的結(jié)構(gòu)如圖7-16(a)所示。烘烤后能獲得4×10-8Pa的極限真空(使用Octoil-S擴散泵油),在10-7Pa以下工作能維持70d,如圖7-16(b)所示。也可利用泵與真空室連接的直角管道壁作為分子篩吸附阱,其結(jié)構(gòu)如圖7-17所示。阱內(nèi)裝有13X分子篩250g,經(jīng)450℃高溫烘烤48h后,能獲得4×10-8Pa的極限真空。在1×10-7Pa以下工作可以維持2周,6周后壓力上升到1×10-6Pa。
用裸規(guī)和標準規(guī)管同時測量帶有分子篩阱的真空室的真空度時,二種規(guī)的壓力讀數(shù)會出現(xiàn)較大的偏差(達一個多數(shù)量級),此種現(xiàn)象稱為貝萊爾(Blears)效應(yīng),如圖7-18所示。
貝萊爾效應(yīng)主要是由標準規(guī)管的細長管道所引起的。油分子通過細長管道要遲延一段時間(由于油分子的蒸發(fā)熱比較大,平均滯留時間長),因而標準規(guī)管內(nèi)油蒸氣分壓達到與真空室油蒸氣分壓相同值時,需要長達數(shù)十小時。
低壓下,分子通過導(dǎo)管的遲延時間t為
真空元件:分子篩吸附阱
2014-04-30 06:27:00 閱讀()
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