阱廣泛用于超高真空(或高真空)系統(tǒng)。阱的作用類似于擋板,它裝在泵入口和真空室之間,不僅能有效地捕集來(lái)自蒸氣流泵的返流蒸氣及部分裂解物,而且可抽除來(lái)自真空室的蒸氣。裝有各類阱的超高真空系統(tǒng),經(jīng)過(guò)徹底的高溫烘烤去氣后,可以獲得10-8Pa~10-10Pa(或更高)的超高真空度。在真空技術(shù)中常用的阱有銅箔阱、分子篩吸附阱液氮冷阱、鈦升華阱以及阻擋機(jī)械泵油用的前級(jí)吸附阱等。
真空元件:阱的概述
2014-04-29 06:36:00 閱讀()
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