工作于分子流狀態(tài)下的高真空抽氣機組與低真空機組相比，特別是工作壓力較低(10^-2Pa—l0^-4Pa)、排氣量小、抽速大。機組的主泵通常為擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦泵、低溫冷凝泵等。這些泵不能直接對大氣工作，因此需要配置預抽泵或前級維持泵。有些擴散泵高真空抽氣機組還配有前級貯氣罐，以防止氣壓波動，改善機組性能。
　　
　　預抽泵(粗抽泵)主要用來抽除真空室中的大量氣體，使真空室氣壓由1×10^5Pa降到主泵能夠啟動工作時的真空度，因此，要求預抽泵所達到的壓力小于主泵的啟動工作壓力，預抽泵(如用機械泵)的抽速大小由粗抽時間決定。從公式(9-11)可導出