本標準適用于直筒式高真空雙層百葉窗、光學密封水冷擋板(以下簡稱擋板)。
?、偌夹g性能應符合表7-91規(guī)定。
?、谕庑魏瓦B接尺寸如表7-92所示。
?、蹞醢宓男阅茉囼灧椒ǎ?br />
a.擋板的漏氣速率用加壓檢漏法或氦質(zhì)譜檢漏法檢驗。加壓檢漏法的充氣壓力不小于0.3MPa—0.4MPa。
b.擋板流導的檢驗。按JB/T 8472.1-96《蒸氣流真空泵抽氣速率(體積流率)測量方法》,測試裝擋板前油擴散泵的抽速。將擋板裝入油擴散泵進氣口與測試罩之間,按JB/T 8472.1規(guī)定的測量方法,測試裝擋板后系統(tǒng)的抽速。測試時應同時按規(guī)定要求向擋板和油擴散泵通水冷卻。根據(jù)測得的裝擋板前、后的抽速,按下式計算出擋板的流導能力
真空元件:直筒式水冷擋板概述
2014-04-28 06:34:00 閱讀()
關注排行
網(wǎng)友評論
條評論
最新評論