圖9-20為我國一臺大型空間環(huán)境模擬設備真空系統(tǒng)原理圖。

　　
　　真空室直徑7m，高12m，容積為400rrr3。真空容器用厚18mm不銹鋼卷制而成，每隔1.3m有一盒形加強環(huán)。為了減小不銹鋼(1Cr18Ni9Ti)出氣量，內壁拋光到R。1.6。
　　
　　真空室大門法蘭采用雙道橡膠密封，兩個密封圈之間抽真空，以減小密封圈漏氣量。法蘭厚150mm，分五段拼焊而成。焊后需要消除焊接應力，在900℃下保溫2h，空氣中冷卻來達到熱處理。
　　
　　真空抽氣系統(tǒng)由擴散泵機組、20K氣氦板組成。擴散泵機組由四臺K-1200擴散泵，四臺ZL11羅茨泵、兩臺H-8機械泵組成。粗抽用兩臺V-6型機械泵。擴散泵入口配有直角液氮冷阱和氟里昂-12冷卻的人字形擋板。擴散泵工作24h后泵的極限真空為2×10-6Pa;而泵的有效抽速為18000L/so氣氦板在16K時，真空度為5×10-4Pa—l×10-5Pa;對氮的抽速為230萬L/s，對氧的抽速為220萬L/s，對氬的抽速為155萬L/s。真空室的z*終壓力為3.8×10 - 6Pa.