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真空元件:擋板設(shè)計原則

  ①至少要有~次光學(xué)屏蔽,即至少要擋住一次束流。
  
 ?、诒M可能有大的流導(dǎo)值。
  
 ?、廴菀准庸ぁ醢甯鞑糠譁夭钚?,制冷劑耗量少。
  
 ?、艹?a href="http://barher.cn" target="_blank" class="keylink">真空用的擋板應(yīng)能承受高溫烘烤。
  
  擴(kuò)大擋板的直徑,可以降低擋板對的有效抽速的影響。擴(kuò)大的擋板傳輸概率如圖7-7所示。

真空元件:擋板設(shè)計原則
真空元件:擋板設(shè)計原則
標(biāo)簽: 真空元件擋板  

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