安裝在擴(kuò)散泵入口第一級噴嘴上面的擋油帽,是用來降低擴(kuò)散泵油的返流的,其結(jié)構(gòu)示意圖如圖7-4所示。擋油帽的尺寸越大,擋油的效果就越好。但尺寸過大,會使泵的抽速顯著降低。一般加上擋油帽后,以泵的抽速降低小于20%為宜。水冷擋油帽比不加水冷的擋油效果要好,但通水冷卻結(jié)構(gòu)較復(fù)雜。此外,擋油帽向下伸出長度越大,擋油效果越好。通常擋油帽邊緣與射流方向相切,這樣既不擋蒸氣主流,又可以擋住向高真空端的返流的蒸氣。擋油帽伸出長度H可由下式計算:
真空元件:擋油帽的概述
2014-04-27 06:33:00 閱讀()
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