小型擴(kuò)散泵高真空抽氣機(jī)組通常配置有貯氣罐，設(shè)置在擴(kuò)散泵和前級(jí)泵之間，貯存擴(kuò)散泵排出的氣體，設(shè)置貯氣罐的原因有：
　　
　?、儆捎谛枰勒鸲O(shè)置貯氣罐。真空系統(tǒng)工作時(shí)，某些工藝過程要求嚴(yán)格防震，因此需要機(jī)械泵在一段時(shí)間內(nèi)停止工作。在這段時(shí)間內(nèi)，擴(kuò)散泵排出的氣體全都貯存在貯氣罐中;貯氣罐代替機(jī)械泵維持?jǐn)U散泵正常工作。
　　
　　這種用途的儲(chǔ)氣罐的體積V為
　　
　?、跒榱丝s短工作周期而設(shè)置貯氣罐。有些生產(chǎn)工藝要求在不關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱器的情況下，真空室放進(jìn)大氣換取元件、裝料。裝料后，用機(jī)械泵預(yù)抽真空室，這段時(shí)間內(nèi)利用貯氣罐來維持?jǐn)U散泵工作。
　　
　　這類貯氣罐體積的計(jì)算公式同式(9-28)。此時(shí)Q為擴(kuò)散泵閥門關(guān)閉后貯氣罐的氣體負(fù)荷(漏氣及出氣)，t為機(jī)械泵預(yù)抽真空室的時(shí)間，其余符號(hào)同式(9-28)。
　　
　　③為防止真空室內(nèi)瞬時(shí)大量放氣影響擴(kuò)散泵正常工作而設(shè)置貯氣罐。工藝生產(chǎn)中某段時(shí)間內(nèi)放氣量特別大，但時(shí)間短。若按此時(shí)的z*大排氣量配機(jī)械泵很不經(jīng)濟(jì)，這樣可配置前級(jí)貯氣罐，在z*大放氣量時(shí)貯存一部分氣體，以避免擴(kuò)散泵前級(jí)壓力超過臨界前級(jí)壓力。
　　
　　前級(jí)貯氣罐體積計(jì)算同式(9-28).但設(shè)計(jì)這類前級(jí)罐時(shí)，應(yīng)滿足下面關(guān)系式

　　
　?、苡糜诜€(wěn)定擴(kuò)散泵出口壓力而設(shè)置貯氣罐。機(jī)械泵排氣是脈沖的，雖然頻率不高(一般為7次/s左右)，也會(huì)引起擴(kuò)散泵出口壓力的波動(dòng)，設(shè)置貯氣罐可減少這種波動(dòng)。