圖9-17為小型雙層空間模擬設備原理圖，內(nèi)容器可以達到10^-10 Pa～10^-12Pa的真空度。
　　
　　真空室由內(nèi)容器和外容器構成。內(nèi)容器主要抽氣手段是20K氣氦板，其預抽用擴散泵，擴散泵與內(nèi)容器之間抽氣管道較長，并用液氮冷凍，因而擴散泵油分子很難跑到內(nèi)容器中，從而保證內(nèi)容器可以得到很高的真空度。內(nèi)容器外部設有外容器，抽氣手段是用擴散泵串接抽氣，并有液氮冷阱，保證了內(nèi)、外容器之間夾層有較高的真空度，大大降低了向內(nèi)容器的漏氣量。外容器用橡膠密封，放出來的氣體由外容器的泵抽走，不會進到內(nèi)容器中。