圖9-16為衛(wèi)星表面溫控涂層耐久性試驗裝置原理圖。裝置包括:加速電壓20kV、柬流為0—300mA的掃描電子槍;能量為1keV~SkeV的質(zhì)子源;5kV高壓汞弧氙燈紫外源,通過鍍鋁拋物面反射鏡,穿過石英窗投射到樣品上。
真空系統(tǒng)主泵是鈦升華泵及濺射離子泵,升華泵的吸氣面用液氮冷卻。粗抽用三級分子篩吸附泵。系統(tǒng)經(jīng)過300℃的烘烤,可達10^-9Pa的真空度。
真空裝置:.溫控涂層耐久性試驗裝置
2014-04-25 06:43:00 閱讀()
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