真空角閥是用于低、高、超高真空系統(tǒng)中的前級(jí)泵的配套元件。沈陽中科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司生產(chǎn)的CD-J型真空角閥按法蘭密封形式分為真空角閥（氟橡膠密封）及全金屬角閥（無氧銅墊密封）二種，閥體為不銹鋼，閥傳動(dòng)密封采用波紋管密封形式，避免了傳劫桿運(yùn)動(dòng)時(shí)的漏氣。其外形尺寸及技術(shù)性能參數(shù)見表7-85、表7-86。