高真空氣動(dòng)翻板閥是以壓縮空氣作為動(dòng)力，用以改變活塞運(yùn)動(dòng)方向帶動(dòng)閥板作啟動(dòng)動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)或管道中氣體的截止與導(dǎo)通。該類閥門結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、開閉時(shí)間短，并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，廣泛用于冶金、電子、化工、航天、原子能、生物醫(yī)藥、食品等中大型設(shè)備，如真空爐、真空鍍膜設(shè)備、真空冷凍干燥設(shè)備等。
　　
　?、偕蜿?yáng)藍(lán)菱真空設(shè)備制造公司生產(chǎn)的GFQ型系列高真空氣動(dòng)翻板閥，適用范圍：105Pa~1×10-5Pa；氣源壓力0.4MPa~0.6MPa，閥門開啟后閥板轉(zhuǎn)角900。其外形尺寸及技術(shù)性能參數(shù)見(jiàn)表7-83。表7-83GFQ型系列高真空翻板閥外形尺寸及性能參數(shù)。
　　
　?、谏蜿?yáng)真龍真空設(shè)備有限公司生產(chǎn)的GD(F)Q系列高真空氣動(dòng)擋（翻）板閥，適用范圍：105Pa~133×10-5Pa，氣源壓力：0.4MPa~0.6MPa；介質(zhì)溫度：丁腈橡膠密封圈為-25℃~80℃，氟橡膠密封圈為-30℃~150℃；漏率：閥門通徑200mm以下為1.3x10-7Pa·L/s，通徑大于300mm為1.3×10-5Pa·L/s。其外形尺寸及技術(shù)性能參數(shù)見(jiàn)表7-84。