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真空裝置：超高真空鉭片爐

2014-04-24 06:32:00  閱讀()

　　圖9-14為鉭片爐真空系統(tǒng)原理圖。
真空裝置：超高真空鉭片爐

　　
　　真空室直徑500mm，主泵為濺射離子泵—鈦升華泵組，抽速為4×10^3L/s。真空室極限真空為2xl0^-7Pa，工作壓力為2×10^-5Pa，為了粗抽及對(duì)付工藝過(guò)程中放出來(lái)的大量氣體，配有油擴(kuò)散泵一機(jī)械泵組成的機(jī)組。
標(biāo)簽： 真空  

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