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真空泵：低溫泵抽氣系統(tǒng)

2014-04-23 06:43:00  閱讀()

　　低溫泵對不銹鋼制造的超高真空容器排氣很適合。20K的低溫泵可得到10^-8Pa的真空 度，4.2K的低溫泵，可得到10^-10Pa—l0^-12Pa的真空度。低溫泵系統(tǒng)不產(chǎn)生碳?xì)浠衔?、金屬膜的剝落碎片或自身帶來的其它污染。在超高真空范圍，低溫泵是可以取代其它類泵的一種清潔抽氣手段。
標(biāo)簽： 真空  

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