超高真空系統(tǒng)所用的主泵有油擴(kuò)散泵、濺射離子泵、鈦泵(蒸發(fā)式或升華式鈦泵)、渦輪分子泵、低溫泵等。近年來國內(nèi)有用鋯鋁吸氣劑泵與其它泵類組合抽氣來獲得超高真空。
對(duì)超高真空系統(tǒng)使用的真空泵要求,除通常的選泵原則外,還有:
?、僦鞅脴O限真空要比真空裝置的工作真空高一個(gè)到一個(gè)半數(shù)量級(jí),如工作真空選1×10^-6Pa,那么泵的極限真空至少為1×10^-7Pa;
?、谠谡婵昭b置工作真空范圍內(nèi),真空泵要有足夠的抽速,以便排走裝置中氣體;
?、壑鞅没蛘咧鞅萌肟诘秸婵帐遗艢饪诘墓艿?、冷阱、擋板、閥門等均能經(jīng)受250°C—450°C的烘烤;
?、苤鞅脤?duì)被抽氣體有選擇性抽氣時(shí),應(yīng)配輔助泵聯(lián)合抽氣;
⑤真空泵所用鋼材應(yīng)選用不銹鋼。
超高真空系統(tǒng)的抽氣技術(shù)
2014-04-22 06:38:00 閱讀()
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