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真空系統(tǒng)的計算實例

真空系統(tǒng)的計算實例

  (二)根據(jù)要求的工作壓力及使用要求,選油擴散作為主泵
  
  為了防止油進入真空室中,擴散泵與真空室之間安裝《山型》擋板(見表2-19),山型擋板比流導(dǎo)為3. 16L/(s.cm^2)并配上一個高真空擋板閥,擴散泵前級泵選2X型機械泵組成的真空機組(如圖9-12所示)。
  
  根據(jù)要求,泵的有效抽速為3388L/s,考慮到加上閥門、擋板后泵的抽速損失(一般泵的有效抽速是泵的抽速1/3左右),暫選抽速為10000L/s的擴散泵來進行試算。由表4-17可見選K- 600型擴散泵完全可滿足要求。泵的進氣口直徑為0.6m,排氣口直徑為0.15mo
  
  (三)計算擴散泵與真空室排氣口間管路的流導(dǎo),驗證選K.600型擴散泵是否合適
  
  K-600型擴散泵口徑為0.6m,為增大擋板流導(dǎo),將其直徑擴大到700mm(如圖9-12所示).計算流導(dǎo)時為簡化計算起見,擋板錐體部分不做計算。

真空系統(tǒng)的計算實例
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